光栅位移传感器是一种机电一体化测量设备，利用光栅原理检测目标位移情况，具有非常高的分辨率，可以达到0.2μm,精度≤1.4μm。具有很好的抗干扰能力，并适用于高精度位移量测、工业在线控制等领域